Жертвенное травление SiO2 в парах HF Системы травления Primaxx® SPTS предлагает широкий круг оборудования для сухого жертвенного травления в парах HF, начиная с лабораторных системам и заканчивая установками для массового производства. Технология травления Primaxx® HF – мировой лидер в области сухого травления жертвенных слоев диоксида кремния, процессах применяемых для формирования подвижных компонентов МЭМС структур. Совместное применение безводного HF … Читать далее Primaxx® Etch Systems